تحقیق درباره بررسی تکنولوژی سیستم های میکرو الکترومکانیکی(MEMS)

فرمت فایل : word (قابل ویرایش) تعداد صفحات : 37 صفحه                   فهرست   مقدمه ای بر تکنولوژی سیستم های میکرو الکترومکانیکی(MEMS2 سوئیچ ها3 پارامتر های سوئیچینگ4 زمان عبور 4 سرعت سوئیچینگ5 اداره توان RF 5 Impedance matching 5 Insertion loss5 Impedance matching. 5 Actuation voltage 6 Life-cycle6 Resonant frequency6 سوئیچ های مکانیکی6 سوئیچ های RF  دیود PIN6 سوئیچ های ترانزیستور های اثر میدان نیمرسانا اکسید فلزی9 سوئیچ ...

                  مقدمه ای بر تکنولوژی سیستم های میکرو الکترومکانیکی (MEMS)    MEMS یک تکنولوژی است،که قادر به ساخت دسته ای از ساختارها ،دیوایس ها وسیستم های مکانیکی کوچک شده است.این تکنولوژی دارای تعدادی مزیت ها نسبت به تکنولوژی IC ها دارد 1- کاهش هزینه در ساخت 2- ثبات دیوایس به دیوایس از تکنولوژی لیتوگرافی واچینگ 3- پیشرفت نقش کلی آن ها در مقیاس پایین که به کاهش وزن واندازه منجر می شود سیلیسیوم یک ماده مناسب برای ساخت دیوایس ها ...