مقدمه ای بر تکنولوژی سیستم های میکرو الکترومکانیکی (MEMS)    MEMS یک تکنولوژی است،که قادر به ساخت دسته ای از ساختارها ،دیوایس ها وسیستم های مکانیکی کوچک شده است.این تکنولوژی دارای تعدادی مزیت ها نسبت به تکنولوژی IC ها دارد 1- کاهش هزینه در ساخت 2- ثبات دیوایس به دیوایس از تکنولوژی لیتوگرافی واچینگ 3- پیشرفت نقش کلی آن ها در مقیاس پایین که به کاهش وزن واندازه منجر می شود سیلیسیوم یک ماده مناسب برای ساخت دیوایس ها ...