میکرو الکترومکانیکال سیستم 1 (MEMS) عبارتند از مجتمع‌سازی عناصر مکانیکی، حسگر، عملگرها2 و عناصر الکترونیکی، بر روی پایه‌های سیلیکونی توسط تکنولوژی ساخت در حد ابعاد میکرون . MEMS تحقق کامل «سیستم‌ها در یک تراشه» و نوعی فناوری است که اجازه توسعه محصولات هوشمند، تکمیل توانایی محاسباتی میکروالکترون‌ها را با درنظر گرفتن قابلیت‌های میکروحسگرها، میکرومحرک‌ها و توسعه فضای ممکن طراحی، ممکن می‌س ...